成果名稱:基于機(jī)器視覺的半導(dǎo)體致冷器件晶粒智能篩選機(jī)
研發(fā)人員:廖廷俤博士科研團(tuán)隊(duì)
所屬領(lǐng)域:智能制造
完成單位:泉州師范學(xué)院
項(xiàng)目簡介:
半導(dǎo)體致冷器件晶粒智能篩選機(jī)基于機(jī)器視覺的圖像處理算法和深度學(xué)習(xí)新技術(shù),采用Linux系統(tǒng)和人機(jī)交互操作UI界面,通過第1工位實(shí)現(xiàn)晶粒3維尺寸同時(shí)成像檢測,通過第2和第3工位實(shí)現(xiàn)晶粒4個(gè)面缺陷同時(shí)成像檢測,并采用光纖傳感器的振動(dòng)盤料滿停機(jī)裝置,以及精確的晶粒運(yùn)動(dòng)定位與采集同步控制,實(shí)現(xiàn)了對(duì)半導(dǎo)體晶粒(尺寸1.32*1.32*2.10mm)6.5粒/秒的勻速送料與檢測,檢測準(zhǔn)確率達(dá)90%以上,檢測精度達(dá)25um,解決了半導(dǎo)體晶粒人工檢測容易產(chǎn)生漏檢、檢測準(zhǔn)確率低、檢測效率低、檢測成本高等問題。實(shí)現(xiàn)了一臺(tái)半導(dǎo)體晶粒篩選機(jī)可以替換5個(gè)檢測員工的產(chǎn)能。擁有14項(xiàng)發(fā)明專利申請(qǐng)和4項(xiàng)授權(quán)實(shí)用新型專利。