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編號17:基于機器視覺的半導體致冷器件晶粒智能篩選機

發(fā)稿時間:2021-06-19瀏覽次數(shù):965

成果名稱:基于機器視覺的半導體致冷器件晶粒智能篩選機

研發(fā)人員:廖廷俤博士科研團隊

所屬領(lǐng)域:智能制造

完成單位:泉州師范學院

項目簡介:

    半導體致冷器件晶粒智能篩選機基于機器視覺的圖像處理算法和深度學習新技術(shù),采用Linux系統(tǒng)和人機交互操作UI界面,通過第1工位實現(xiàn)晶粒3維尺寸同時成像檢測,通過第2和第3工位實現(xiàn)晶粒4個面缺陷同時成像檢測,并采用光纖傳感器的振動盤料滿停機裝置,以及精確的晶粒運動定位與采集同步控制,實現(xiàn)了對半導體晶粒(尺寸1.32*1.32*2.10mm6.5/秒的勻速送料與檢測,檢測準確率達90%以上,檢測精度達25um,解決了半導體晶粒人工檢測容易產(chǎn)生漏檢、檢測準確率低、檢測效率低、檢測成本高等問題。實現(xiàn)了一臺半導體晶粒篩選機可以替換5個檢測員工的產(chǎn)能。擁有14項發(fā)明專利申請和4項授權(quán)實用新型專利。